TF-3000全自動檢測分選機
產品簡介
TF-3000全自動檢測分選機是根據光伏產業和國際半導體產業的發展及市場需求而開發研制的新型自動化設備?？赏ㄟ^高效準確的非接觸式測試儀器對硅片及類似產品進行檢測分析并進行自動分選。
該設備可根據用戶需要搭載多種檢測模組，如：厚度、電阻率、少子壽命等，用戶可以對硅片等產品的各種質量參數進行定義。
性能、技術參數
工藝特點
控制系統
碎片檢測系統
插片機平面布置圖
主要零部件配置
技術支持和服務要求
產能 | 300片/時（p/h） | |
硅片尺寸 | 125mm-210mm | |
硅片規格 | 多晶硅/單晶硅 | |
測試范圍 | 厚度 | 100-1500μm |
電阻率 | 0.3-15 Ohm cm | |
誤差率 | 厚度 | <1%（+5μm/-5μm） |
電阻率 | <5% | |
| 0.1-1000μs | |
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